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[多选题]
倒角的目的是：()、()、()。
A.防止晶圆受到撞击而导致边缘破裂
B.防止热应力产生的缺陷在边缘产生并阻止其向内部移动
C.增加晶圆边缘的平坦度
D.去除晶圆表面微量的损伤层
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