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[多选题]
低压外延反应器的缺点是()。
A.可以减小自掺杂反应
B.对设备要求提高,必须防止泄漏
C.工艺温度降低外延层晶格受影响
D.缩小了过渡区可用于多层外延
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A.可以减小自掺杂反应
B.对设备要求提高,必须防止泄漏
C.工艺温度降低外延层晶格受影响
D.缩小了过渡区可用于多层外延
A.因为检修期间反应器等封头及各个法兰经过重新安装后可能出现泄漏
B.通过气密及时发现泄漏,以消除隐患
C.确保装置长周期运行
D.防止高压串低压