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[多选题]
离子注入机按能量高低分为（ ）。
A.低能离子注入机（能量范围<100keV）
B.中能离子注入机（能量范围=100～300keV）
C.高能离子注入机（能量范围>300～1000keV）
D.兆伏离子注入机（能量范围>1000keV）
E.千伏离子注入机（能量范围>1000keV）
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按易燃液体闪点的高低分为低闪点液体、中闪点液体、高闪点液体。其中高闪点液体的闪点温度为()。
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