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题目内容（请给出正确答案）

[单选题]

化学机械抛光中，抛光液的作用是()。

A.与硅片表面材料反应，变成可溶物质或一些硬度过高的物质变化

B.向抛光垫施加压力

C.将反应生成物从硅片表面去除

D.清洗硅片

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