题目内容
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[主观题]
为实现更小的微细加工线宽,最新的光刻技术采用浸没式光刻机以实现更高的分辨率。假定光刻机所用透镜的半径为6cm,透镜的焦长为10cm,浸没的液体为折射率1.44的水溶液,光刻机使用的光源为波长193nm的准分子激光器,k值为0.6,试求此镜头的数值孔径NA、焦深和光刻机的分辨率。
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A.发现新现象
B.开发新材料
C.采用微细加工技术
D.多功能集成传感器
A.实现小区信号垂直方向的波束赋形,更能有效覆盖高空区域
B.实现大规模天线阵列,相比4T4R射频设备体积更小,重量更轻/更易安装
C.实现多用户频谱资源复用,提升网络系统容量
D.实现小区信号波束赋形,提升网络覆盖能力