电子探针显微分析仪(ElectronProbeMicroAnalyzer，简称EPIVIA)是试样表面照射电子束时的2次电子和反射电子来观察试样表面状态，并利用此时所产生的元素特有X射线来获取微区表面状态、化学元素的浓度及其空间分布的一种装置。()此题为判断题(对，错)。