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离子注入系统结构一般包括()、()、()、()、()等部分。

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第1题
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第2题
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第3题
热扩散方法适合做深结,离子注入法适合做浅结。()
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第4题
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第5题
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A.6个

B.7个

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第6题
在离子注入法的掺杂过程中,注入离子在非晶靶中的浓度分布函数满足对称的高斯分布,其浓度最大位于()处。
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第7题
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第8题
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第9题
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第10题
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