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[多选题]
划片划好放入氮气柜待加工的晶圆必须注意()
A.摆放整齐端正
B.确保卡物不分离且流程卡
C.晶圆管制卡必须装入塑料袋后方可放入
D.晶圆提篮的卡环必须卡上
E.注意氮气流量阀门是否打开
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A.摆放整齐端正
B.确保卡物不分离且流程卡
C.晶圆管制卡必须装入塑料袋后方可放入
D.晶圆提篮的卡环必须卡上
E.注意氮气流量阀门是否打开
A.10~15
B.3~4
C.6~8
D.5~7
A.不期而遇 注意
B.不约而同 警惕
C.不谋而合 担心
D.殊途同归 防备